主な機器・設備のご紹介
電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800(SHL)
JSM-IT800(SHL)は、日本電子社製の電界放出形走査電子顕微鏡（FESEM）の上位機種であり、試料表面の高分解能観察と元素分析の研究に利用される。電子銃をコンデンサーレンズの内部に組み込むことで、電子ビームを超低エミッタンスで発生することができる。この高輝度化によって、高い照射電流量（100 nA@5 kV）、球面収差の低減、高速高精度のEDS元素分析などが実現されている。また、対物レンズを電磁場重畳型とすることで、絶縁体・磁性体観察の際の空間分解能が向上している。さらに、焦点調整（AF）、非点収差補正（AS）やコントラスト輝度調整（ACB）などの電子光学制御機能が著しく改善され、ユーザーが測定条件を変えても、短時間で安定な観察に自動復帰することができる。
電界放出形走査電子顕微鏡本体
オートファインコーター及び試料回転傾斜装置
試料冷却ステージ
| 機器名・型式 | 電界放出形走査電子顕微鏡 JSM-IT800(SHL) |
| メーカー名 | 日本電子（株） |
| 納入会社名 | 日本電子（株） |
| 機器管理責任者 | 見附 孝一郎 （所属） 理･分子フォトニクス研究室 （内線1643） |
| 設置場所 | 機器分析センター111室 |
| 文部科学省助成機器 | 〇 |
| 納入年月日 | 2021年3月24日 |
| 測定責任者 |
１．本機の特色と性能
分解能： 0.5 nm @ 15kV；0.9 nm @ 0.5kV
倍率： 200万倍（写真倍率）；548万倍（表示倍率）
加速電圧： 0.01 ～ 30 kV
照射電流： 数pA ～ 500 nA @ 30kV；数pA ～ 100 nA @ 5kV
検出器： 二次電子検出器（SED）；上方ハイブリッド検出器（UHD）
上方電子検出器（UED）；反射電子検出器（BED）
試料移動： Ｘ方向70 mm；Y方向50 mm；Z方向1 ～ 41 mm；
傾斜-5～70°；回転360°
試料サイズ（ドローアウト）： 最大径 170 mm；最大高さ45 mm
試料交換室経由： 受口径 12.5 または32 mmφ
試料バイアス電位： 最大5 kV
低真空モード
分解能 1.3 nm @ 15kV, 50 Pa；圧力範囲 10 Pa ～ 300 Pa
検出器 低真空二次電子検出器（LVSED）；低真空反射電子検出器（LVBED）
倍率： 200万倍（写真倍率）；548万倍（表示倍率）
加速電圧： 0.01 ～ 30 kV
照射電流： 数pA ～ 500 nA @ 30kV；数pA ～ 100 nA @ 5kV
検出器： 二次電子検出器（SED）；上方ハイブリッド検出器（UHD）
上方電子検出器（UED）；反射電子検出器（BED）
試料移動： Ｘ方向70 mm；Y方向50 mm；Z方向1 ～ 41 mm；
傾斜-5～70°；回転360°
試料サイズ（ドローアウト）： 最大径 170 mm；最大高さ45 mm
試料交換室経由： 受口径 12.5 または32 mmφ
試料バイアス電位： 最大5 kV
低真空モード
分解能 1.3 nm @ 15kV, 50 Pa；圧力範囲 10 Pa ～ 300 Pa
検出器 低真空二次電子検出器（LVSED）；低真空反射電子検出器（LVBED）
２．付属装置とその用途
（１）エネルギー分散型X線分析装置（EDS）
分析モード：スペクトル分析、線分析、元素マップ
スペクトル分析：定性分析、ビジュアルピークID、標準物質無し定量分析
元素マップ：最大解像度 4096×3072；波形分離機能、
深さ方向ラインプロファイル表示機能など
（２）試料冷却ステージ（Deben MK3 ULTRA Coolstage）
含水試料の水分蒸発を抑えた観察を行うためには、試料を冷却して観察する
ことが効果的です。水分の多い食品・生物組織・熱ダメージに弱い試料の観察に
適しています。
温度範囲：-50℃～50℃※
最小温度表示桁数：0.1℃
温度安定性：±0.2℃
※温度範囲は設定圧力により変動する。
（３）オートファインコーター（JEC-3000FC）
走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属
コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
スパッタリング方式：マグネトロン形
使用圧力：20 Pa以下
ターゲット：Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd
試料台：64mmφ
（４）試料回転傾斜装置（EC-30020RTS）
オートファインコーター（JEC-3000FC）用のオプションで試料の凹凸による
回り込み不足を改善することができます。
回転速度：50±10 rpm（モーター駆動）
傾斜角度：水平～90°（手動）
試料ホルダー：12.5mmφ、4個用/32mmφ、1個用
分析モード：スペクトル分析、線分析、元素マップ
スペクトル分析：定性分析、ビジュアルピークID、標準物質無し定量分析
元素マップ：最大解像度 4096×3072；波形分離機能、
深さ方向ラインプロファイル表示機能など
（２）試料冷却ステージ（Deben MK3 ULTRA Coolstage）
含水試料の水分蒸発を抑えた観察を行うためには、試料を冷却して観察する
ことが効果的です。水分の多い食品・生物組織・熱ダメージに弱い試料の観察に
適しています。
温度範囲：-50℃～50℃※
最小温度表示桁数：0.1℃
温度安定性：±0.2℃
※温度範囲は設定圧力により変動する。
（３）オートファインコーター（JEC-3000FC）
走査電子顕微鏡の試料作製装置として、生物などの非導電性試料への各種金属
コーティングを短時間に効率的に行えるイオンスパッター装置です。
スパッタリング方式：マグネトロン形
使用圧力：20 Pa以下
ターゲット：Pt、Au、Au-Pd、Pt-Pd
試料台：64mmφ
（４）試料回転傾斜装置（EC-30020RTS）
オートファインコーター（JEC-3000FC）用のオプションで試料の凹凸による
回り込み不足を改善することができます。
回転速度：50±10 rpm（モーター駆動）
傾斜角度：水平～90°（手動）
試料ホルダー：12.5mmφ、4個用/32mmφ、1個用
３．使用規定および使用上の注意
（１）操作開始時は、まず液晶ディスプレイをONしてください。続いて、SEMCenterアイコ
ンをダブルクリックして、各自のアカウントを選択し必要ならパスワードを入れてログ
オンしてください。試料を所定の手順で取り付けて、画像の観察を始めてください。
（２）画像観察が終了したら、観察画面上の観察ボタンをクリックして、白色の状態
（HT OFF）にしてください。また、加速電圧を3kVに設定して下さい。次に「試料交
換位置」ボタンをクリックして青色点灯させてください。そして、試料を所定の手順で
取り出してください。装置使用終了時には、試料交換室のEVACランプが点灯している
状態にして下さい。最後にSEMCenterをログオフして液晶ディスプレイの電源をOFF
してください。
（３）試料が試料ホルダーのシリンダー上面からはみ出して上に出ている場合は、試料挿入時
に表示される「試料設定」ウィンドウ内の「試料高さ補正」のスライダーを動かして、
はみ出し分の大きさを入力してください。なお、はみ出し分の許容最大値は30 mm
です。
（４）操作パネル上の焦点、コントラスト、輝度の３つの調節つまみは、軽く押すことで粗調
⇔微調を切り替えることができます。
（５）試料の取り付け・取り出し後、真空度の安定に時間がかかる場合は実験センター事務室
まで連絡して下さい。
（６）測定終了後、装置本体及び制御PCの電源は切らないで下さい。
（７）常備以外の試料載台の使用希望者は実験センター事務室まで連絡して下さい。
（８）試料冷却ステージを利用希望者は、必ず講習を受講したものと操作して下さい。
ンをダブルクリックして、各自のアカウントを選択し必要ならパスワードを入れてログ
オンしてください。試料を所定の手順で取り付けて、画像の観察を始めてください。
（２）画像観察が終了したら、観察画面上の観察ボタンをクリックして、白色の状態
（HT OFF）にしてください。また、加速電圧を3kVに設定して下さい。次に「試料交
換位置」ボタンをクリックして青色点灯させてください。そして、試料を所定の手順で
取り出してください。装置使用終了時には、試料交換室のEVACランプが点灯している
状態にして下さい。最後にSEMCenterをログオフして液晶ディスプレイの電源をOFF
してください。
（３）試料が試料ホルダーのシリンダー上面からはみ出して上に出ている場合は、試料挿入時
に表示される「試料設定」ウィンドウ内の「試料高さ補正」のスライダーを動かして、
はみ出し分の大きさを入力してください。なお、はみ出し分の許容最大値は30 mm
です。
（４）操作パネル上の焦点、コントラスト、輝度の３つの調節つまみは、軽く押すことで粗調
⇔微調を切り替えることができます。
（５）試料の取り付け・取り出し後、真空度の安定に時間がかかる場合は実験センター事務室
まで連絡して下さい。
（６）測定終了後、装置本体及び制御PCの電源は切らないで下さい。
（７）常備以外の試料載台の使用希望者は実験センター事務室まで連絡して下さい。
（８）試料冷却ステージを利用希望者は、必ず講習を受講したものと操作して下さい。
４．使用者小委員会の構成
現在のところ設定していない。
